制造商匀胶机采购巧评述

挑选那些巧

从其作用言之  ，能能确定挑选匀胶机须得目光的多个详情

扭动线速度

转动速度的速率和把控度之间的关系到旋涂覆的体积尺寸把控和膜层平均性 。倘若标记的转动速度和三相异步电机的实计转动速度差值特别大  ，而言条件密涂覆的科研开发考生来说就是尚未拥有精准的的实验报告动态数据的 。产的有的匀胶机只会具备转动速度范畴  ，并难以确校准随时的转动速度 。口的匀胶机一般大分能校准转动速度  ，而且大分转动速度度未准则判定 。个人建议购卖转动速度把控的方面有判定准则的  ，就像:美NIST规范等 。

真空必一运动(B-Sports)官方网站吸附物体系的构

负压泵先要隔膜水环重力作用泵泵版的  ，阻力校准最准确  ，内工作的隔膜水环重力作用泵泵版负压泵实话不好意思恭维 。因是什么的油污清洗都几率梗塞负压通道  ，若果负压离心分离力下降  ，会从而导致基片离心分离停不住而制造"飞片"的的情况  ，一定会让滴胶液无意入真空系统泵管道网系统成*不通 。碰过产匀胶机的雇主经常会关心的话为何刷洗的话题  ，这事大部分外的匀胶机做得非常不错  ，它们有完成协同体系  ，如何真空系统泵吸出力不太的情况下  ，不是起扭动 。

材料做的选

对於半导体设备化的行业的适用策略而言  ，原材料的首选着实重中之重  ，大分匀胶机通过的就是304不绣钢也可以正规金属原材料  ，担心这般原材料的成本费用很低  ，304不绣钢的对於各项化胶液的抗锈蚀性不行  ，金属对於较必一运动(B-Sports)官方网站温度和心理压力下易制造压扁 。但如果这般压扁引致托盘的的方位耗尽级别的情况下  ，会引致旋涂时  ，时实低的波动必一运动(B-Sports)官方网站 。理所当然没办法获取好的旋涂视觉效果 。列举美等主要参数全是通过非人工聚乙烯(NPP)甚至聚四氟乙稀(特氟隆  ，PTFE)所选板材 。这两者所选板材应有生态必一运动(B-Sports)官方网站标准、降低资源量、含水量轻、密度大、抗的冲击性能方面好、经用经用、斑纹大自然、色泽度好等的特点 。

介绍

该机械设备核心适用于晶片涂光刻胶  ，有自行式、手动挡和半自行式六种作习惯 。

送片盒中的晶片  ，自然送去承片桌上  ，用进口真空树脂吸附  ，在主轴轴承直流电机的起到下三维旋转  ，速比100-9900转/分(±10转/分)  ，再启动迅效率快可调节 。每道小程序的将持续时光  ，发动机转速、迅效率快、烘烤温度表、烘烤时光、预烘时光等艺因素均可按照代码抑制 。

匀胶机还有一个或若干滴胶系統  ，可涂有差异类种的光刻胶 。滴胶的措施有晶片平稳或滑动滴胶 。跟随晶片的尺寸的提高  ，存在了找色滴胶或胶口活动式滴胶 。胶膜高度般在500-1000nm  ，同晶片和片与片间的不确定度不大于±5nm 。滴胶泵有波浪纹管式和膜式哪几种  ，并有数据电磁流量计行恒量把控 。对涂过胶的晶片有左右两刮边能  ，除掉晶片正反两面面剩余的光刻胶 。

烘烤位  ，有铁路隧道式远红外热处理  ，微波射频迅猛热处理和电容热处理的热板炉等 。涂胶后的晶片要按定的降温强度行烘干机 。烘烤方式在密封盖的蜂窝煤炉中行  ，经由抽正空来排除挥发物得出来的造成损害物料 。前烘截止后  ，将晶片打入收片盒内 。