匀胶机是在速缩放的基片上  ，滴注当下胶液  ，采用离心法力使滴在基片上的胶液匀称地涂覆在基片上的的设备  ，膜的重量源于于匀胶机的速比和溶胶的粘度 。主要的主要用于晶片涂光刻胶  ，有主动、速腾自功档和半主动两种作方式方法 。送片盒中的晶片  ，一键送进承片台下  ，用抽真空树脂吸附  ，在设备的主轴主轴电机的助推下翻转  ，速比100-9900转/分(±10转/分)  ，工作1度可调式 。每道编译程序的持续保持时  ，速比、1度、烘烤溫度、烘烤时、预烘时等艺参数表均可在编译程序调节 。匀胶机建立一个或多家滴胶系统软件  ，可涂各不相同木种的光刻胶 。滴胶的的方式有晶片匀速或扭动滴胶 。随着时间推移晶片长度的变高  ，会出现了滴胶或胶口移动手机式滴胶 。胶膜重量般在500-1000nm  ，同晶片和片与片间的误差率大于±5nm 。滴胶泵有水波纹软管式和透气膜式三种  ，并有2g涡轮流量计行恒量把控 。对涂过胶的晶片有高低刮边能  ，清掉晶片双面面少量的光刻胶 。烘烤位  ，有隧道工程式远红外热处理  ，微波微波加温更快热处理及及功率电阻热处理的热板炉等 。涂胶后的晶片要按定的加温传送速度行烤干 。烘烤的过程 在密封带的燃气炉中行  ，顺利通过抽真空必一运动(B-Sports)官方网站排出散发出来了的有危害的成分 。前烘完成后  ，将晶片超出收片盒内 。

选购巧
从其原理来说  ，可以看出选购匀胶机需要注意的几个细节

旋转速度
转速的快慢和控制度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性 。

真空吸附系统的构
真空泵定要无油的

材质的选择
对于半导体化行业的应用来说  ，材质的选择尤为关键  ，大分匀胶机采用的是不锈钢或者普通塑料材质  ，因为这种材质的成本很低  ，不锈钢的对于各类化胶液的抗腐蚀性不太好  ，塑料对于较温度和压力下产生变形 。如果这种变形引起托盘的位置失去水平的话  ，将会导致旋涂时  ，时时低的颠簸状态 。自然无法得到好的旋涂效果 。