电容电压（C-V）性测试仪是测试频率为1MHz的数字式电容测试仪器 。用于测量半导体器件PN结势垒在不同偏压下的电容量  ，也可测试其它电容 。
仪器有较的分辨率  ，电容量是四位读数  ，可分辨到0.001pF  ，偏置电压分辨率为0.01V  ，漏电小分辨率为0.01μA或0.1μA（可选） 。
该测试仪器性能稳定可靠  ，能齐  ，度  ，操作简单  ，适用于元件厂家  ，科研  ，等院校等单位 。
2. 原理
CV法利用PN结或肖基势垒在反向偏压时的电容性  ，可以获得材料中杂质浓度及其分布的信息  ，这类测量成为C-V测量 。这种测量可以提供材料横截面均匀性及纵向杂质浓度的分布信息 。
组成半导体器件的基本结构的PN结具有电容效应（势垒电容）  ，加正向偏压时  ，PN结势垒区变窄  ，势垒电容变大；加反向偏压时  ，PN结势垒区变宽  ，势垒电容变小 。
该仪器采用电电压测量方法  ，它用微处理器通过8 次电压测量来计算每次测量后要求的参数值 。用个相敏检波器和模数转换器顺序快速成电压测量 。正交测量通过交换测量信号的相位来行  ，而不是参考相位检测 。因而不需要的模拟相位转换成电压矩形波电路 。通过从同个频信号源形成测试信号和参考信号  ，来保证正确的相位关系 。由微处理器根据已知的频率和测试信号相位  ，用ROM 存储器内的程序和所存储的按键选择来控制测量顺序  ，以及存储在RAM 中的校准数据来计算被测元件数值 。